shallowtrenchisolation解釋

...(TrenchOxideDishing)的製程瓶.頸。關鍵詞.淺溝渠隔離技術(ShallowTrenchIsolation;STI)；固定式砥粒研磨(FixedAbrasive.Polishing)；化學機械研磨(DirectCMP) ...,Shallowtrenchisolation(STI),alsoknownasboxisolationtechnique,isanintegratedcircuitfeaturewhichpreventselectriccurrentleakagebetween ...,由嚴永民著作·2011—ShallowTrenchIsolation(STI)techniquesareessentialforsemiconductordeviceforreducingelec...

參考資訊如下
淺溝渠元件隔離技術現況與挑戰

... (Trench Oxide Dishing)的製程瓶. 頸。 關鍵詞. 淺溝渠隔離技術(Shallow Trench Isolation; STI)；固定式砥粒研磨(Fixed Abrasive. Polishing)；化學機械研磨(Direct CMP) ...

Shallow trench isolation

Shallow trench isolation (STI), also known as box isolation technique, is an integrated circuit feature which prevents electric current leakage between ...

工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文

由 嚴永民 著作 · 2011 — Shallow Trench Isolation (STI) techniques are essential for semiconductor device for reducing electrical interferences between devices of sub-micro and sub 100- ...

浅槽隔离工艺（STI）

2010年11月28日 — 相信很多在现在看工艺厂的相关文档时，会看到有些图上面标有STI的注释，STI是英文shallow trench isolation的简称，翻译过来为浅槽隔离工艺。

何謂STI? - WU MIN SHIN

2014年12月19日 — STI = Shallow Trench Isolation. 顧名思義就是在CMOS上挖一條溝渠來做隔離，那是隔離什麼呢? 因為在CMOS上會有P+與N+結合起來的depletion ...

淺槽隔離

淺槽隔離，即shallow trench isolation，簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝，通過利用氮化矽掩膜經過澱積、圖形化、刻蝕矽後形成槽，並在槽中填充澱積氧化物， ...

淺溝渠元件隔離技術現況與挑戰

淺槽隔離_百度百科

淺槽隔離，即shallow trench isolation，簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝，通過利用氮化硅掩膜經過澱積、圖形化、刻蝕硅後形成槽，並在槽中填充澱積氧化物， ...

[問題求助] 何謂STI effect?

2008年1月23日 — 談到STI effect請問板上的先進們~~那是什麼意思呢?? 何謂STI effect? ,Chip123 科技 ... STI則為Shallow Trench Isolation(淺溝分離法)的簡稱，與LOCOS相同 ...